主 讲 人：陈宝钦
地 点：物理与信息工程学院南楼111报告厅
主 办 方：物理与信息工程学院
最先时间：2017-05-16 10:10
讲座介绍：
问题：微光刻与电子束光刻手艺
1.微光刻手艺的开展历程，光学光刻手艺，光学光刻分辨率增强手艺，光学光刻怎样一次又一次突破光刻分辨率极限，抵达亚十纳米标准。�！！�
2.电子束光刻极限在纳米CMOS集成电路研制和微纳米加工手艺中的应用，电子束光刻工艺手艺，电子抗蚀剂工艺手艺，微纳加工数据处理手艺。�！！�
3.微电子手艺的开展与展望，中国集成电路制造业的开展，摩尔定律什么时间失效的问题，深化摩尔、、拓展摩尔和逾越摩尔。�！！�
4.和同砚们交流谈谈：做人要正直，做事要勤劳，做学问要扎实；；做好每一件简朴的事镌汰不简朴，做好每一件通俗的事镌汰欠亨俗；；低下头，从脚下最不起眼的路走起！！
主讲人介绍：
陈宝钦，博士生导师，中科院微电子研究所研究员，兼职中国科学院大学教授；；北京电子学会半导体专业委员会副主任、、制版分会主任；；天下半导体装备与质料标准化手艺委员会副主任、、微光刻分委会秘书长；；天下纳米手艺标准化手艺委员会微纳加工手艺事情组副秘书长；；中国科学院老科技事情者协会理事、、微电子分会理事长、、科学讲师团成员。�！！６嗄昀匆恢�从事光掩模与先进掩模制造手艺、、电子束光刻手艺、、微光刻与微纳米加工手艺研究和开发事情。�！！�在加入和相助开展的各项科研活动中获多项科技奖，划分于1979年至2013年间先后获国家科技前进奖二等奖两项和国家手艺发明奖三等奖一项；；航天科工集团、、北京市和中国科学院科技前进奖一等奖五项、、二等奖六项；；2013-2016年度中国科学院教育教学效果奖特等奖。�！！Ｏ群笪吨泄蟀倏迫椤纷础把谀Ｖ谱魇忠铡保�；为《现代高手艺丛书》撰写“微细图形加工手艺”；；并加入《天下最新集成电路》大型集成电路工具书编译事情，任副主编；；策划并相助编写《高等院校电子手艺课本-TANNER集成电路设计教程》；；为国家自然科学基金委组织科学出书社出书的《半导体科学手艺》撰写“微光刻与微纳米加工手艺”；；为中国军事百科全书撰写“微电子学与纳米电子学”；；为中国科学院《高手艺开展报告》撰写“集成电路工艺与设计手艺最新希望”；；为《集成电路工业全书》撰写“掩模制造装备”。�！！Ｊ芄沂忠占嗍泳治腥险嫫鸩莶⒅贫�十多项微光刻手艺国家标准。�！！＝蚁�或者相助揭晓论文有《中国光掩模制造与光刻手艺现状及开展趋势》和《微光刻与微纳米加工手艺》等约100篇。�！！�
